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  • 液化三氟化氮
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液化三氟化氮 液化三氟化氮化學式NF?,在常溫下是一種無色、無臭、性質穩定的氣體,是一種強氧化劑。

液化三氟化氮化學式NF?,在常溫下是一種無色、無臭、性質穩定的氣體,是一種強氧化劑。三氟化氮在微電子工業中作為一種優良的等離子蝕刻氣體,在離子蝕刻時裂解為活性氟離子,這些氟離子對硅和鎢化合物,高純三氟化氮具有優的蝕刻速率和選擇性(對氧化硅和硅),它在蝕刻時,在蝕刻物表面不留任何殘留物,是非常良好的清洗劑,同時在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的運用。

液化三氟化氮


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